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      激光干涉儀的特點(diǎn)及工作原理

      更新時(shí)間:2021-03-02點(diǎn)擊次數(shù):1129
         一、激光干涉儀的特點(diǎn):
        1、是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計(jì)量測試方法,是*的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
        2、產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。
        3、在相關(guān)軟件的配合下,還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測,可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有*的精度和效率,為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
        二、激光干涉儀的原理:
        1、激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡。
        2、這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時(shí),探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。
        3、若光程差有變化時(shí),探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí),在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào),這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。
        總結(jié):激光干涉儀的特點(diǎn)及工作原理。看完本文您就應(yīng)該有了基本的認(rèn)識(shí)和了解相信大家都明白了吧!總的來說,希望對(duì)大家有所幫助。
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